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为entegris提供高性能树脂与复合材料
材料完整性管理领域的先锋entegris与ge高新材料集团合作开
发先进的材料技术，以帮助晶圆加工企业在 300mm的晶圆加工处理
领域获得最佳业绩。
entegris选择了ge的lexan*9誖力显*9誖树脂、 ultem*9誖
树脂和lnp*9誖stat-kon*9誖复合材料，用于其foup产品的外壳和
内部元件。exan力显聚碳酸酯(pc)树脂具有良好的耐用性、耐冲击
性以及强度和尺寸稳定性，ge高新材料集团还提供用于制造foup的
特殊lexan力显树脂，该树脂有助于获得低释气性和低离子含量的性
能，这对于最大限度地降低晶圆污染至关重要；ultem树脂具有较好
的阻燃性，有助于降低工厂的保险级别并减轻其保费负担，最近通过
了半导体清洁空间操作环境中的阻燃性和发烟性测试，并通过了美国
联研会(factory mutual)fm4910标准的认证；lnp stat-kon复合材
料可为晶圆提供高效稳定的接地电路，保护晶圆免遭静电损害的威
胁。
entegris的f300型和a300型autopod foup专为处理300mm的
晶圆而设计，2种产品都可以营造轻巧、持久的清洁空间环境。foup
可以容纳25片在半导体工厂中进行加工处理的晶圆，相对于传统材
料而言，ge的材料技术能够降低材料受损风险，从而达到增加产率
的目的，使客户可以选择更加安全有效的晶圆传送方式。（杨）